抽屜式UV紫外臭氧清洗機NE-UV01擁有工業級別的清洗效率和效果,適用小型基片清洗,如液晶面板,ITO,FTO,光學玻璃,OLED,LCD,硅片,陶瓷,金屬片,聚合物,硅膠等表面清洗,用于清洗產品的表面有機物,即進行表面改質,從而獲得較好的親水性。
產品原理:
UV紫外臭氧清洗機所選用的雙波長紫外(TUV)燈,其實質是低壓汞蒸汽放電燈,它可以發射短波紫外輻射,波長主要集中在253.7nm,同時還會發射少量波長為184.9nm的紫外線。這兩種波長的紫外線對應的光子能量分別為472kJ/mol和647kJ/mol。一般情況下,紫外線的光子能量接近或者大于有機物分子的結合能,因此可以直接切斷絕大多數分子的結合。
紫外臭氧清洗機主要是利用低壓汞燈產生的紫外光與空氣中的氧氣發生反應產生臭氧,臭氧又可以進一步與紫外作用產生活性氧自由基,而活性氧自由基可以對材料表面進行清潔和改性處理,如提高表面張力,改善聚合物的潤濕性。
具體反應為:UV照射材料表面時發射的短波紫外線會分解O2,形成具有強氧化能力的O3,聚合物表面的有機物和O3在UV照射下,會分解出一些極易揮發的氣體(如H2O、CO2等)。
只有UVC段的紫外光與空氣中的氧氣發生作用時才會產生臭氧。一般波長為185nm的紫外光與空氣中的氧氣發生作用時產生臭氧的效率最高,臭氧會進一步與波長為254nm的紫外光發生作用產生活性氧自由基。紫外臭氧改性處理是波長為185nm與254nm的紫外光共同作用的結果。
產品特點:
材質:機身整體采用不銹鋼材料,耐酸堿、防腐蝕,美觀大方
結構:抽屜式樣品臺,取、放基板簡單、方便
氣路:預留進氣接口,豐富設備的清洗種類
保護:抽屜開合與UV燈工作互鎖,避免紫外線傷害
計時:按鍵定時器,數顯倒計時,放便直觀
操作:清洗工作進程可以任意時間手動終止
配件:可選臭氧中和器,避免臭氧傷害
排風:自帶臭氧排風系統,12.5cm 直徑出風口,配置風管及緊固件。
產品應用:
■ 在進行薄膜沉積之前先進行基片清洗。清除浮渣和穩定化處理光刻膠。超高真空度密封。
■ 清洗硅芯片,透鏡,反光鏡,太陽能面板,冷軋鋼,慣性引導零件和 GaAs 芯片
■ 清潔焊劑,混合電路以及平板 LCD 顯示器
■ 增強塑料表面的鍍膜的粘附性
■ 基片終測后墨跡清楚
■ 平板顯示器/液晶顯示器
■ 去除光刻機臺上的光刻膠殘留物
■ 在電路板封裝和打片之前清洗)
■ 增強表面親水特性
清洗波段 |
185nm和254nm |
距離UV燈3-5mm平均光強 |
28~32mW/cm² |
燈管 |
雙波低壓汞燈 |
燈管功率 |
150W |
照射高度 |
20-100mm,可通過托盤四邊螺母調節高度 |
托盤外型尺寸 |
250mm(W)×300mm(D)×260mm(H) |
外形尺寸 |
350W*400L*350H (mm) |
電源 |
220V,1.5A,300W |