Nordson March AP600等離子清洗機產品介紹

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2023-06-12

Nordson-March是一家領先的高科技公司，專注于為全球電子、醫療、航空航天和國防行業提供革命性的等離子技術解決方案。其中，AP600是Nordson-March公司生產的一款高效的等離子清洗機，下面介紹一下它的特點和優勢。

AP600等離子清洗機是美國Nordson-March公司生產的儀器，如圖1.1（a）所示。AP600主要進行等離子體清洗、材料表面活化及改進材料表面的附著力的功能，應用于半導體制造、微電子封裝和生命科學設備等方面。它由13.56MHz射頻電源發生器、電子控制系統、自動匹配系統和等離子體放電腔體四部分構成。外接真空泵系統可通入不同氣體，例如氬氣、氧氣、及氟化氣體等。放電腔體的兩側壁有7個可調節極板間距的支架可用于放置極板，相鄰兩個支架之間的間距為2.54cm（1inch）。其中正極板的尺寸為330mm*330mm，負極板與放電腔體的側壁相接觸，其尺寸為368mm*340mm。

Nordson March AP600等離子清洗機

同時AP600等離子清洗機放電參數的設定可以直接在操作面板上操作，包括放電功率、氣壓、流量、放電時間的設定，而且放電腔體內的反射功率也會在面板上顯示，可以直觀地反映放電腔體內放電狀況是否正常。若反射功率為零時，說明與射頻電源能很好的匹配；若反射功率超過10則需要調節匹配電容，以保證腔體內等離子體的正常放電。

AP600等離子清洗機具有以下優點：
1.高效清洗能力。AP600等離子清洗機通過低溫、低壓等離子技術，能夠去除各種雜質和污垢，使清洗效果更加徹底，在完成去污的同時可以提高產品表面親水型。
2.適用性廣泛。AP600等離子清洗機對清洗材料性質沒有要求，無論是金屬還是非金屬都能處理。可以靈活應對不同材料和清洗要求。
3.精確的控制系統。AP600清洗機采用先進的PLC控制系統和觸摸屏界面，能夠實現精確控制和監控清洗過程，保障清洗質量和安全性。
4. 節能環保。該清洗機采用低溫、低壓等離子技術，不會產生有害氣體和廢水，同時也能夠節約能源和成本，符合環保需求。
5. AP600采用容性耦合等離子體（CCP）產生方式，具有放電空間大、等離子體產生均勻、可控性強等優點。

AP600等離子清洗機常見應用舉例 :
1. 清洗：去除納米級的殘留物；加強打線鍵合前的粘著性。
2. 滅菌處理：去除表面殘留微生物。
3. 表面改性：在材料表面產生官能分子。
4. 活化：渲染表面的親水性或疏水性；鍵合和沉積前的表面預處理。
5. 聚合處理：沉積帶官能分子團的聚合物；等離子活化表面；移植聚合物到活化后的材料表面。