單頻容性耦合等離子體源

頻容性耦合放電的實驗裝置如圖1.1所示，通常由一對平行的金屬電極和一個真空腔體組成，其中一個電極接地，在另一個電極上施加射頻偏壓。兩側電極前的鞘層內部存在準靜電場，腔體內的初始電子在射頻電場的作用下加速并獲得能量，轟擊氣體使其電離，產生更多的電子、離子以及活性基團粒子，從而形成動態平衡的低溫等離子體。