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PDMS-玻璃微流控芯片等離子體鍵合技術是利用等離子活化,在真空狀態下的氧離子轟擊鍵合材料表面使得表面的化學鍵打開,比如玻璃表面大量的Si-OH基團,PDMS表面大量的Si-C鍵,Si-O鍵等化學鍵被斷裂,當兩種材料相互貼合,在貼合表面發生脫水等反應使得彼此化學鍵互相結合,從而實現鍵合。