真空等離子清洗機真空度影響決定什么
文章出處:等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間:2023-02-22
真空等離子清洗機的工作流程:在壓力到達設定本底壓力時,充入工藝氣體,當腔內壓力進出動態平衡時,利用等離子電源產生的中高頻交變電磁場激發生成等離子體,對被清洗工件表面進行物理轟擊與化學反應雙重作用,使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質,經過抽真空排出,而達到清洗目的。
真空度指的是真空等離子清洗設備工藝腔室的腔內壓力,清洗腔內的真空度是工藝氣體流量、腔體泄露率和真空泵抽速的動態平衡。在高頻電場中真空狀態下的氣體物質通過輝光放電,轉變成等離子體狀態。被清洗器件被等離子體完全籠罩,開始清洗作業。
真空等離子清洗機真空度影響決定什么
真空等離子清洗機處理效果與真空度密切相關,只有在特定的真空度及等離子氣體氛圍內,才能得到最佳的改性效果。真空度對材料表面處理效果影響較大,當真空度較小時,高速電子數目的增多使得各粒子的平均自由動程降低,自由電子碰撞獲得的能量不足以提供足夠被電離的活性粒子,活性基團數目少。當真空度較高時,高速電子數目減少,電子自由動程大,碰撞機會減少使得真正被電離的活性粒子數目少,活性基團數目少。
物理等離子清洗工藝模式采用的倉體真空度較小。物理等離子清洗工藝要求被激發的離子轟擊工件表面。假如倉體真空度過高,激發的離子在到達工件清洗表面之前就和其他離子產生多次碰撞,減低清潔效果。已激發的離子在碰撞之前所行進的距離稱為離子的平均自由路程,與倉體真空度成反比。物理等離子清洗工藝要求低壓以便于平均自由路程最大化,使碰撞轟擊達到最大。但假如倉體真空度下降太多,就沒有足夠的活性離子在有效的時間內來清潔工件。化學等離子清洗工藝產生的等離子體與工件表面產生化學反應,所以離子數越多越能增加清洗的能力,導致需要使用較高的倉體真空度。
本文由深圳等離子清洗機廠家納恩科技整理編輯!!!真空等離子清洗機真空度的控制也是一個重要的環節,在氣體流量和功率一定情況下,要提高真空度,必須更換大抽速的泵。真空等離子清洗設備真空度控制方式通常有恒流&恒壓式(工藝氣體流量恒定,通過蝶閥角度控制或泵組頻率調整實現恒壓)、恒流式(工藝氣體流量恒定,真空壓力只做上限控制)、混合式(通過調節工藝氣體流量實現壓力控制)三種。第一種最穩定,但設備結構復雜,成本高,一般只有半導體晶圓制造工序選用;第二種最常見,實際真空會隨著泵組能力而變化,新泵的抽真空能力強,清洗效果較好;隨著時間推移,泵的抽速下降,清洗效果變差;第三種運行穩定性不好,不僅壓力不穩定,工藝氣體流量也在變化,工藝穩定性難以保證。