等離子體的診斷方法

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-09-21

等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。

等離子體是物質的第四態，即電離了的“氣體”，它呈現出高度激發的不穩定態，其中包括離子(具有不同符號和電荷)、電子、原子和分子。等離子體是由電子、離子等帶電粒子以及中性粒子(原子、分子、微料等)組成的,宏觀上呈現準中性,且具有集體效應的混合氣體。

等離子體的狀態可通過各種方法測定，通常有等離子體照相、分光法、光譜分析、質量分析法和電子探針法等。其中：

（1）等離子體照相利用等離子體自身發射的光(紅外線、可見光、紫外線、X射線)來照相,可以得到發光區的宏觀圖像結構及其變化。

（2）分光法包括發光分光法和吸光光度法。用吸光光度法有可能對發光分光法不能測定的位于基態附近能態的原子團進行認定。

（3）光譜分析是等離子體診斷中應用最廣泛的一種方法。利用長期以來物理學和化學實驗所積累的對物質發光的光譜數據，結合理論分析，能確定等離子體的電子和離子溫度、數密度、速度分布、成分等多種物理性質。

（4）質量分析法可以直接測定等離子體中的氣體種類，特別是各種離子。通常用差壓排氣的方法將等離子體導入質譜儀中進行質量分析，能夠對等離子體中的基團進行鑒定，還能與能量分析儀組合測定能量。

（5）直流輝光放電時采用電子探針法，高頻放電或微波放電時采用雙電子探針法。

（6）此外，氣相電子順磁共振（EPR）、激光誘導熒光法（LIF）、激光雙共振譜（CARS）等新的等離子體診斷方法正在研究之中。用這些方法可以測定等離子體中的原子、分子及電子的狀態。