微波等離子清洗機結構組成介紹

微波等離子清洗機總體結構分為五個部分：設備主體、真空系統、微波放電系統、控制系統和供氣系統。其清洗過程是：在真空腔內壓力到達一定范圍時充入工藝氣體,當腔內壓力為動態平衡時，利用微波源振蕩產生的高頻交變電磁場將氧、氬、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到清洗目的。