真空等離子清洗機真空泵的功能及選擇介紹

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-05-09

真空泵用于在等離子清洗機的接收器中生成真空。真空泵需在規定時間內將腔體真空度抽到適當值，并在腔體進氣時維持腔體真空度的動態平衡。在等離子清洗技術中最常用的真空泵如下所述：

旋片式真空泵

旋片泵由一個外殼組成，外殼中的轉子偏心轉動。外殼內部具有彈簧加載型葉片，葉片頂住外殼內壁，并沿內壁滑動。被圍在吸入側的氣體將被壓縮，直至其超過環境壓力，然后壓力側上的排氣閥打開。旋片式真空泵在真空等離子清洗機上大多數用在小型腔體（80L以下）或者作為真空泵組的前級泵。

旋片式真空泵具有以下這些優點：
第一，旋片式真空泵在抽除腔體內的干燥氣體的同時，也能抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物；
第二，結構相對簡單，維護保養起來方便；
第三，體積小、重量較輕，便于安裝移動；
第四，振動微小，噪音低；
第五，價錢相對低一些等。

干式真空泵

無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
為了使用腐蝕性氣體 (CF4/O2,SF6,…)進行工作，泵經常與腐蝕性氣體一起使用會限制其使用壽命。若經常在生產期間使用，我們則建議購買干運行泵，干運行泵適用于腐蝕性氣體，
干運行泵的優點在于優化了生產燃料的消耗量。這些泵不需要進行預防性維護。（換油）

羅茨真空泵

旋片泵所產生的壓力會受到限制。為了增強抽吸性能，建議將其與搖桿式活塞泵組合使用。它們將會組成一個所謂的泵站。典型組合如下所述：
1.第一個泵（例如：一個旋片泵）生成預真空。其被稱為“前級泵”。
2.作為第二個泵，使用的是一個搖桿式活塞真空泵。

真空泵的選擇

對于我們的標準等離子清洗機，可以考慮特殊旋片泵。泵越大，工藝時間就越短。可以根據腔室容積和所需的工藝時間自定義選擇泵。有些處理產品會釋放大量氣體（例如：POM部件、硅橡膠或潮濕部件）。在這種情況下，建議使用性能更強的泵。

抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。今天我們就來介紹一下等離子清洗機上所用到的幾類真空泵組以及在選擇真空泵組時的注意點。

真空泵組的選擇

真空泵組是將2臺或2臺以上的真空泵組合在一起，形成一個串聯的結構，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機上用到的真空泵組一般有三大類，一種是旋片式真空泵加上羅茨泵；另一種是干式真空泵+羅茨泵；最后一種是機械泵加上分子泵。

旋片式真空泵+羅茨泵
旋片式真空泵加上羅茨泵組成的泵組又可以稱為油式泵組，這種泵組是我們真空等離子清洗機中常見的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級泵組合而成的泵組。這類泵組一般運用于對潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機上。

旋片式真空泵加上羅茨泵作為真空等離子清洗機中常見的一種泵組，其優點有很多：第1，能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時間；第2，結構較為簡單，維護方便；第3，性價比較高，具有價格優勢。

干式螺桿真空泵+羅茨泵
干式螺桿真空泵加上羅茨泵組合成干式泵組，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級泵組合成的泵組。因為都是由干式真空泵組合而成的，所以不會出現油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。干式泵組一般運用于生物醫療領域、半導體領域以及航天航空領域等潔凈度要求較高的行業。

干式泵組作為一款性能優越的泵組，它的優點還真不少：第1，潔凈度高，避免了油污染；第2，抽真空速度快，提高了工作效率；第3，工作時性能穩定，聲音低；第4，對工作環境的要求低，能應對各種惡劣的工作環境。

機械泵+分子泵
機械泵加上分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環境，所以分子泵組一般是運用在鍍膜機、刻蝕機等對真空環境要求高的設備上。

分子泵組這么厲害，那它又有哪些優點呢？第1，分子泵組啟動快，而且抽速非常快；第2，分子泵組是不使用油的，不會產生油污染；第3，維護簡單。

等離子清洗機通過真空泵使等離子體腔體內變成真空環境，等離子體通過轟擊表面污物,使其形成揮發性污物然后被真空泵排出,達到清洗的目的。等離子清洗時的壓力與工藝氣體的充入流量、真空室漏率和真空泵的有效抽速相關，等離子清洗機真空泵的選取對于等離子清洗效果有很大影響。