等離子清洗技術和激光清洗技術及其區別

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-04-22

工業和高新技術的發展，物理清洗技術以其操作簡單、無毒害或污染小、無腐蝕等特點，漸漸地成為了現代工業清洗技術的主流，并逐步開始取代傳統化學清洗技術。物理清洗技術是利用聲、光、電、熱、力、物理射線等的物理作用，并施加于污垢處以破壞清除污垢，達到清洗效果的清洗技術。常用先進清洗技術有高壓水射流清洗技術、激光清洗技術、等離子清洗技術、超聲波清洗技術、干冰清洗技術等。工業清洗技術的應用和發展中，物理清洗技術因其優勢在工業清洗中占據了重要的地位。

等離子清洗技術

等離子體清洗技術是一種新型的表面清洗技術，也是一種“綠色”的清洗技術。它在清洗過程中不需要化學試劑和清洗液的使用，因此也就避免了清洗過程中因清洗液的排放等造成對環境的污染。

等離子清洗技術是利用等離子體內的高能粒子的活化作用，使得工件表面的待清洗層上的有機物、氧化物等污垢以及各種粒子發生一系列的物理化學反應，從而從清洗表面脫落或蒸發，從而達到清洗的作用。同時在合理的清洗工藝參數下，等離子清洗還會使得清洗表面的形態發生物理化學變化，并且也為表面引入一系列的自由基團，從而改善了被清洗表面的極性和親水性等特性。由于離子與工件的碰撞，使得該種清洗技術的去除效率為原子級別。該種清洗技術可用于工件的超精密清洗。

離子清洗技術的最大特點是適用于各種基材類型的清洗，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。除此之外，等離子清洗還具有以下幾個特點：①容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；②正確的等離子清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；③由于是在真空中進行，所以等離子體中的各種活性離子的自由程很長，他們的穿透和滲透能力很強，可以進行復雜結構的處理，包括夾層、細管和盲孔；④等離子體作用過程是氣—固相干式反應，不消耗水資源、無需添加化學試劑，對環境無殘留物，具有綠色環保特征。因此，采用等離子清洗技術可以克服傳統方法中的缺陷，使清洗更符合環保原則。并且經過等離子清洗的產品材料還會發生性質的改變，比如親水性，粘接性能等。

激光清洗技術

激光清洗技術同等離子清洗技術一樣，屬于干法清洗的范疇。它是利用高能激光束對工件待清洗表面進行照射，使得清洗層的顆粒、污物以及油漆等表面污染物那件發生蒸發或從表面脫離，從而達到對工件表面進行潔凈處理的目的。和傳統的清洗工藝相比，激光清洗技術適用的污染物中種類和適用范圍更加的廣泛.但由于在進行清洗的過程中，激光清洗技術因激光光束的聚焦、傳輸和導入以及激光能量的吸收和轉換問題以及使用成本等問題使得激光清洗技術的推廣受到了限制。因而目前激光清洗技術主要用于微電子行業中，以及精密光學元件表面顆粒的清洗等領域。

與傳統清洗方法相比，激光清洗的優點主要集中在：（1）清洗參數可調，可實現精準清洗且清洗范圍廣泛；（2）清洗對基材的損傷小，保證清洗后基材性能不變；（3）“綠色”清洗方式對環境污染較小；（4）清洗效率高，成本低更易實現自動化。激光清洗技術的眾多優勢使其更適應今天的清洗行業發展，所具有的巨大潛力，必然會取代傳統清洗方式。

激光清洗技術激光清洗技術同等離子清洗技術一樣，屬于干法清洗的范疇。等離子清洗是一種比脈沖激光清洗或離子轟擊溫和得多的清洗技術。等離子體中的能量為eV的離子在撞擊電極表面時不會使材料濺射和再沉積。