電鍍件可以用等離子清洗機清洗嗎？

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-04-18

電鍍件可以用等離子清洗機清洗嗎？答案是可以的。等離子清洗，可以去除材料表面有機物，氧化物，活化材料表面，提高附著力等,經過等離子清洗機清洗的電鍍件的更有利于均勻電鍍。

等離子體是物質的第四種狀態，由電子、離子、活潑自由基和分子四種形態組成。反應氣體在低壓下，在電場的作用下獲得能量，氣體分子離子化，產生輝光放電。離子化氣體影響或和腔體中的材料分子反應，打破基材小分子結構變成較小的分子而變成揮發性的氣體，通過真空泵排凈。等離子處理過程是一個物理和化學相結合的反應。

一、化學清洗
例1：O2＋e－→2O※+e－O※＋有機物→CO2+H2O氧等離子體去除有機物從反應式可見，氧等離子體通過化學反應可使非揮發性有機物變成易揮發的H2O和CO2。
例2：H2+e-→2H※+e-H※+非揮發性金屬氧化物→金屬＋H2氫等離子體去除氧化層從反應式可見，氫等離子體通過化學反應可以去除金屬表面氧化層，清潔金屬表面。

二、物理清洗
表面反應以物理反應為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。例：Ar＋e-→Ar++2e-Ar++沾污→揮發性沾污氬等離子體表面能活化Ar+在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產生動能，然后轟擊在放在負電極上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、同時進行表面能活化。表面反應中物理反應與化學反應均起重要作用。

芯片凸點電鍍中的等離子清洗機的應用

在凸點制備過程中,為了在電鍍之前去除晶圓表面的有機沾污,保證鍍層的結合力和外觀質量,大量使用等離子清洗技術,以取代部分化學活化,這在一定程度上減少了化學廢液的產生。等離子清洗是利用等離子體轟擊物體表面,以達到去除污物的目的。在凸點電鍍銅、金等工序之前,都會用到這種環保的前處理技術。

多層陶瓷外殼電鍍環節等離子清洗機的應用

多層陶瓷外殼是由多層金屬化陶瓷、底座和金屬零件采用焊料釬焊而成，進入電鍍環節前，外殼表面不可避免地會形成各種沾污，包括微塵、固體顆粒、有機物等，同時由于自然氧化，還會有一層氧化層。電鍍前必須清潔鍍件表面，否則將影響鍍層與基體的結合力，造成鍍層起皮、起泡。為了去除這類污染物，常采用甲苯、丙酮、酒精等有機溶劑進行超聲清洗，但這種方法一方面清洗不徹底，易造成鍍層缺陷，另一方面會使制造成本增加，并引發環境問題。等離子體清洗因具有良好的均勻性、重復性、可控性及節能環保性，在封裝領域獲得了推廣應用。

等離子清洗過程中，氧氣變成含有氧原子自由基、激發態的氧氣分子、電子等微粒的等離子體，這類等離子體與固體表面發生的反應可以分為物理反應（離子轟擊）和化學反應，物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走，化學反應機制是O活性粒子將有機物氧化成水和二氧化碳分子，并從表面清除，由真空泵吸走；此外，Ag72Cu28焊料表面形成的弱氧化層也被隨后的氫氣還原。所以樣品表面“潔凈”，鍍層無質量缺陷。

等離子清洗，能去掉電鍍件表面有機物沾污，還原表面的氧化物，提高基底材料的親水性，等離子清洗后再電鍍,鍍層與基體的結合良好。這對提高封裝質量和器件可靠性極為重要，同時對節能減排也起到了很好的示范效用。