等離子清洗機在LCD行業ITO玻璃清洗中的應用

文章出處：本站 | 網站編輯：深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-04-16

LCD的COG組裝過程，是在ITO玻璃上貼裝IC裸片，利用金球的變形與壓縮來使ITO玻璃上的引腳與IC芯片上的引腳導通。由于精細線路不斷發展的技術，目前已經發展到生產Pitch為20μm、線條為10μm的產品。這些精細線路電子產品的生產與組裝，對ITO玻璃的表面清潔度要求非常高，要求產品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有機與無機的物質殘留在ITO玻璃上來阻止ITO電極端子與ICBUMP的導通性，因此，對ITO玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中，大家都在嘗試利用各種清洗劑(酒精清洗、棉簽+檸檬水清洗、超聲波清洗)進行清洗，但由于清洗劑的引入，會導致因清洗劑的引入而帶來其他的相關問題，因此，探索新的清洗方法成為各廠家的努力方向。通過逐步的試驗，利用等離子清洗機來對ITO玻璃進行表面清潔，是比較有效的清潔方法。

在對LCD液晶玻璃進行的等離子清洗中，使用的活化氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和有機污染物粒子，因為氧等離子體可將有機物氧化并形成氣體排出。通過洗凈工藝后的電極端子與顯示器，增強了偏光板粘貼的成品率，并且電極端與導電膜間的粘附性也大大改善，從而改善了產品的質量及其穩定性。

等離子清洗機清洗原理

等離子清洗機實際是高精度的干法清洗設備，它的清洗范圍為納米級別的有機和無機污染物。LCD行業中的ITO玻璃在運送和濕法清洗后，表面殘留的有機溶液和無機顆粒，成為影響IC貼合到ITO玻璃上的主要因素。在等離子清洗應用中，主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機氣體(Ar、N2、H2、O2等)在高頻低壓下被激發，產生含有離子、激發態分子，自由基等多種活性粒子。一般在等離子清洗中，可把活化氣體分為兩類，一類為惰性氣體的等離子體(如Ar、N2等);另一類為反應性氣體的等離子體(如O2、H2等)。這些活性粒子能與表面材料發生反應，其反應過程如下:電離———氣體分子———激發———激發態分子———清洗———活化表面。等離子產生的原理如下:給一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十兆赫茲)，電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，產生等離子體。活性等離子對被清洗物進行表面物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到清洗目的。

LCD工藝水平飛速發展，LCD制造技術極限不斷受到挑戰并發展，已成為代表先進制造技術的前沿技術。在清洗行業對清洗的要求也越來越高，常規清洗已經不能滿足要求，在軍用技術以及半導體行業中尤其如此，等離子清洗機比較理想地解決了這些精密清洗的要求，又符合當今環保的形勢。

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