FTO導電玻璃等離子清洗改善表面親水性提高功函數

等離子清洗是指氣體分子在高壓、真空等條件下會分解出高速運動的原子和分子，這些原子和分子通過解離、碰撞產生等離子體，產生的等離子體作用于FTO玻璃表面，可以使表面分子的化學鍵重組，因此不僅可以除去殘留的有機物雜質，還能形成新的表面特性，改善玻璃表面的浸潤性，同時提高FTO的功函數。

FTO導電玻璃等離子清洗改善表面親水性提高功函數

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-12-07

透明導電玻璃(Transparent Conducting Oxide)：作為氧化物半導體薄膜的基底，具有良好的透光性和導電性，同時還負責將電子傳輸到外電路。在我們傳統得光伏器件里，導電玻璃一般分為兩種：FTO(摻氟氧化錫，Fluorinedoped Tin Oxide)和ITO(摻銦氧化錫，Indiumdoped Tin Oxide)。FTO導電玻璃是在透明的玻璃上制備一層摻氟的SnO2薄膜，在玻璃和SnO2之間有一層幾納米厚的SiO2薄膜。ITO是在透明的玻璃上制備一層氧化銦錫。相較ITO導電玻璃，FTO導電玻璃的透光率較差，但在燒結過程中FTO的電阻值更穩定。

NAEN-PLASMA

兩種導電玻璃性能對比如下：

1）FTO導電玻璃，耐高溫、抗腐蝕、導電性好、透明度好；
2）ITO導電玻璃，導電性和透明度優于FTO導電玻璃，耐高溫性和抗腐蝕性遜于FTO導電玻璃。

FTO導電玻璃

FTO玻璃等離子清洗

低溫等離子體是繼三態之后的第四態，是氣體在放電過程中產生大量的正負帶電粒子、電子和中性粒子，以及自由基組成的表現出集體行為的一種準中性氣體。低溫等離子體的能量約為幾十電子伏特,其中所包含的離子、電子、自由基等活性粒子以及紫外線等輻射線很容易與固體表面的污染物分子發生反應而使其脫離,進而可起到清洗的作用。同時由于低溫等離子體的能量遠低于高能射線,因此此技術只涉及材料表面,對材料基體性能不產生影響。

等離子清洗是指氣體分子在高壓、真空等條件下會分解出高速運動的原子和分子，這些原子和分子通過解離、碰撞產生等離子體，產生的等離子體作用于FTO玻璃表面，可以使表面分子的化學鍵重組，因此不僅可以除去殘留的有機物雜質，還能形成新的表面特性，改善玻璃表面的浸潤性，同時提高FTO的功函數。

不同清洗方法處理后的FTO基底接觸角大小

為了研究不同清洗方法FTO玻璃親水性能的影響，我們對不同方法處理后的FTO基底進行了潤濕角測試。使用的儀器為動態接觸角測量儀，測量精度在±0.1°。接觸角為固-液-氣三相交點處，其氣-液界面和固-液界面兩切線所成的角。將液滴加到不同清洗方法的FTO基底表面。測試結果如圖1所示，普通的化學清洗接觸角為36°，紫外臭氧清洗的接觸角為17°和等離子清洗接觸角的3°。說明普通化學清洗不能完全去除表面雜質和油污。等離子清洗效果明顯更好，能夠有效去除基底表面吸附的有機小分子以及油污。更好的親水性能夠使溶液在FTO玻璃表面更好的鋪展。