真空等離子清洗系統介紹及其示意圖

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2022-11-02

真空等離子清洗機也被稱作等離子表面處理儀，其原理是機器對氣體（如氮氣）施加足夠大能量使之成為等離子狀態，利用等離子體中活性粒子（電子、離子、活性基團等）的活化作用來起到清除被清洗物質外表雜質的目的。這種清洗方法能進入到物體的細小孔眼和凹陷的里邊完成清洗工作，可以不用去擔心被清洗物質的外形，而且清洗的效果十分顯著。

真空等離子清洗系統結構：

真空等離子清洗系統包括真空腔體、真空系統、射頻電源及匹配系統、充氣系統、控制系統等。真空等離子清洗系統的設備總體結構如下所示：

真空等離子清洗系統各部分結構示意圖
1、觸摸屏 2、控制按鈕 3、等離子體發生器 4、機柜 5、真空腔體 6、真空計 7、電極板 8、饋電組件 9、真空電磁閥 10、流量計 11、電極板架 12、放氣閥 13、真空泵

真空腔體是真空等離子清洗系統關鍵結構部分,等離子體的產生,材料的清洗處理均在該腔體中完成。低溫等離子體是在一定真空度的狀態下產生的,這就要求真空腔體具有密封性,同時考慮到整個設備的重量,一般真空腔體采用鋁合金焊接成型，也可以采用不銹鋼焊接成型。

低溫等離子體是在電極板之間放電產生的,因此,在真空腔體中設計了極板組件,待處理的材料存放在極板上,如圖所示：

真空等離子清洗系統電極組件

真空系統由真空泵組、真空腔體、真空計、真空電磁閥及真空管路組成，真空電磁閥控制真空泵組的開啟及真空腔體與大氣的聯通與封閉。真空系統是真空等離子清洗系統的核心部分，試樣在真空腔體中進行集中處理，真空泵組負責將真空腔體抽到一定真空度;

電源系統由電源、匹配系統，放電極板等組成，利用放電極板進行高頻放電，使腔體內產生等離子體，自動阻抗匹配器，與射頻電源配合使用，自動匹配器內部安裝可調電容器，電機調整，當負載變化時，快速自動調整，達到等效匹配，提高輸出效率。

充氣系統由截止閥和質量流量控制器組成,充氣管路可根據工藝要求設計,分別接不同的氣體,根據不同的被清洗材料可以選擇O,H2,Ar2等。清洗過程中,要保持真空室內一-定的真空度,并且要動態平衡穩定,這樣產生的等離子體才能穩定,并且氣體不斷置換,可使反應時產生的廢氣及時排出,避免污染。

控制系統采用可編程邏輯控制器(Programma-bleLogicControl，PLC)和人機系列觸摸屏進行聯合控制，可通過對觸摸屏的點擊操作控制真空等離子清洗系統的運作。控制系統實現全工藝過程的自動控制,實現自動預抽、自動充氣、自動平衡、產生等離子體、清洗等步驟。

上述真空等離子清洗系統使用傳統的電容耦合式等離子清洗機結構，即內平行極板。系統主要由三大部分組成包括真空系統、放電系統和控制系統，主要用于材料的表面清洗活化改性等場合。